高振动环境

                                由于美新的热对流MEMS加速度计没有可移动的部件并且没有导致传感器结构出?#20013;?#25391;的误差所以该加速度计非常适合于感测高振动环境中的低g<10g低频<30Hz加速度美新的热对流MEMS加速度计具有一个自然低通滤波响应<30Hz而传统的MEMS器件在悬臂梁的应用中都用于高重力的传感例如撞车检测和安全气囊展开这类的应用通常?#21152;?#36739;硬的悬臂梁且MEMS结构具有较高的谐振频率通常为30kHz以上随着传统悬臂梁的工作方式?#30001;?#33267;低重力应用悬臂需要?#31995;?#30340;硬度并且相关谐振频?#24066;?#35201;降至5kHz以下同时在应用过程中如果MEMS结构的谐振频率之上或者附近出现加力传感器将会报告无效加速度和偏置误差如果MEMS器件前端的放大器出现过载美新的热对流MEMS加速度计能够消除高振动环境中的误差

                                高振动环境
                                Thermal MEMS accelerometers are ideal for sensing low-g (<10g), low frequency (<30Hz) accelerations in high-vibration environments
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