高振动环境

                                由于美新的热对流MEMS加速度计没有可移动的部件并且没有导致传感器结构出?#20013;?#25391;的误差,所以该加速度计非常适合于感测高振动环境中的低g<10g)、低频(<30Hz)加速度。美新的热对流MEMS加速度计具有一个自然低通滤波响应<30Hz,而传统的MEMS器件在悬臂梁的应用中都用于高重力的传感,例如撞车检测和安全气囊展开。这类的应用通常?#21152;?#36739;硬的悬臂梁且MEMS结构具有较高的谐振频率,通常为30kHz以上。随着传统悬臂梁的工作方式?#30001;?#33267;低重力应用,悬臂需要?#31995;?#30340;硬度,并且相关谐振频?#24066;?#35201;降至5kHz以下。同时,在应用过程中,如果MEMS结构的谐振频率之上或者附近出现加力,传感器将会报告无效加速度和偏置误差。如果MEMS器件前端的放大器出现过载,美新的热对流MEMS加速度计能够消除高振动环境中的误差。

                                高振动环境
                                Thermal MEMS accelerometers are ideal for sensing low-g (<10g), low frequency (<30Hz) accelerations in high-vibration environments
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