技术 C MEMS热对流质量流量传感器

                                流量测量在许多应用中都至关重要包括半导体制造工艺化学工艺医疗器械和天然气计量等

                                由于其简单的结构和实施MEMS热对流质量流量传感器已得到广泛应用MEMS技术可用于制作微加热器和热传感器优于传感器内部没有可移动的部件从而有效简化了制造成本和操作要求热式质量流量传感器的其他优势包括尺寸小响应时间短功耗低以及对低流速的超高灵敏度

                                热对流质量流量传感器一般包括上游和下游温度传感器热电堆以及位于两个温度传感器之间的加热器如下所示

                                 
                                 
                                 

                                MEMS热对流质量流量传感器可用于探测流速美新公司采用独?#26800;CMOS工艺制造而成的传感器芯片包括一个中央加热器源微加热器以及两个温度传感器热电堆热电堆对称地放置在微加热器上游和下?#21361;?#22914;果在加热器表面没有气体流过对称的热电堆可以测量到相同的升温使两个热电堆产生相同的输出电压如果有气体从仪表入口流到出口空气气流速度将导致加热器周围的温度曲线出现不平衡并且热量将?#30001;稳?#30005;堆转移至下?#31283;?#30005;堆进而使得热电堆电压出现变化较大的气体流速将使得温度曲线出现较大的不对称性

                                ?#30001;?#35745;原理来讲将传感器进行热隔离确保只有流量导致的热转移才可以发生其他热转移路径例如通过基板或者引线将导致热损耗及传感器性能?#26723;?#31561;因素在设?#24179;?#27573;就被最大程度的避免

                                 
                                Memsic Technology- Thermal MEMS Flow Sensors
                                Memsic Technology- Thermal MEMS Flow Sensors
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